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PRODUCT CLASSIFICATION晶圓x射線晶體定向儀分揀系統(tǒng)Wafer XRD用于全自動分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀有著*的XRD系統(tǒng),用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Omega/Theta XRD- 定制的樣品架用于微小圓柱體、大型晶鑄或立方體晶體定向的夾具
Omega/Theta XRD- 搖擺曲線測量意味著在Theta-scan模式下進行測量,這需要一個測角儀。一個雙晶體被帶入主光束路徑,以減少光譜寬度和發(fā)散度。然而,其副作用是強烈的強度降低。
Theta XRD晶錠粘接轉(zhuǎn)移技術(shù)(堆垛 stacking),晶體(如SiC的晶錠)。這些需要在線切過程之前進行定向?qū)省reiberg儀器公司提供了一個方便的支架系統(tǒng),使用Omega-scan對準晶錠。整個堆垛被轉(zhuǎn)移到線鋸。平行的鋸切可極大節(jié)省時間,極大提升生產(chǎn)效率,提高制造良率。
Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺允許使用受控的網(wǎng)格模式來探索整個樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉(zhuǎn)盤頂部容納額外的XY定位平臺。樣品表面可以根據(jù)用戶定義的網(wǎng)格進行掃描。由于樣品上X射線光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。
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